GSL-1800X-ZF2 蒸發鍍膜儀主要應用于大專院校、科研機構、企業實驗室及微小產品進行真空鍍膜等真空處理的工藝研究、樣板試制、操作培訓和生產
GSL-1800X-ZF4 蒸發鍍膜儀是一款高真空的蒸發鍍膜儀,特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al、Au等),也可蒸鍍各種氧化物材料。本機設有4個蒸鍍加熱舟,且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實現對有機材料的蒸發鍍膜,可滿足發光器件及有機太陽能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設備。
OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發鍍膜(CSS)爐專門針對于用PVD或CSS法來制作薄膜。管式爐爐管直徑為11“ OD,爐管內載樣盤可放置3“ 的圓形或2“x2“的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管,分別安裝在腔體的頂端和底部,其升溫速率高達20ºC/S 。溫控系統為PID30段程序化控制,控溫精度為+/-1ºC。儀器面板上帶有RS485接口,儀表內配有控溫軟件,可將升溫程序和曲線導出。
OTF-1200X-RTP-II-5-R 5英寸旋轉蒸發鍍膜爐,其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設備專門設計針對于熱蒸發或CSS(Close Spaced Sublimation)鍍膜實驗,其鍍膜面積可達到5“x5“,并且頂部載樣臺可旋轉,提高鍍膜均勻性。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管(分別位于頂部和底部),大升溫速率為10ºC/s 。對于探索新一代的薄膜太陽能電池,