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MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統
功能特點 |
|---|
外熱式反應腔體，加熱結構在真空室外，反應腔室維護保養無需拆卸腔室加熱器或樣品臺加熱器；
配有可拆卸片托，支持100mm*100mm方片及以下尺寸的樣品；
3路前驅體源系統（包括2路金屬源和1路水源）；
高性能真空系統和殘余前驅體源處理熱阱；
自動控制沉積系統和工藝壓力實時檢測顯示；
可置于手套箱底部與手套箱對接；
可視化的操作界面，實時顯示系統各部分運行狀態，可方便的調節溫度、流量、脈沖時間等參數，編輯并保存配方參數；
多用戶權限分配，軟硬件互鎖，異常報警、緊急停機等功能確保安全性；
沉積模式可設為連續模式或停流模式；
外置移動支架顯示器操作。
MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統
| 技術參數 | ||
|---|---|---|
| 電源 | 三相五線制AC380V±10%，頻率50Hz/60Hz，功率約12KW | |
| 反應腔體 | 腔室 | 外熱式單腔腔室 |
| 樣品尺寸 | 最大100mm*100mm方片及以下尺寸 | |
| 反應溫度 | 最高150℃ | |
| 前驅體源系統 | 金屬源 | 2路標準加熱前驅體源 配置Swagelok高溫快速ALD閥（響應時間＜10ms）、手動隔膜閥和50mL不銹鋼源瓶 源瓶及管路加熱溫度室溫至200℃ |
| 水源 | 1路水源 配置Swagelok高溫快速ALD閥（響應時間＜10ms）、手動球閥和50mL不銹鋼源瓶 | |
| 載氣系統 | 2路載氣系統 全套管路+VCR密封，前驅體源管路具有在線清洗功能 | |
| 真空系統 | 極限真空 | 小于5×10-3Torr |
| 真空漏率 | 小于5×10-7Pa·L/s | |
| 真空泵抽速 | 40m3/h | |
| 其他配置 | 真空泵前級配置熱阱，加熱溫度最高600℃,控制精度±1℃,用于吸附、分解未反應的前驅體源 | |
| 真空計 | 真空計前設有保護真空計的高效過濾網，沉積過程中可以實時監測顯示腔室壓力的變化 | |
| 主機 | PLC+4U工控機+顯示器 | |
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