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詳情介紹
| 功能特點 |
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- 結構緊湊、小型化的桌上型儀器；
- 用各種氣體清洗和去除晶片上納米級有機污染物；
- 在制膜實驗之前預先清潔鍍膜基底的優秀工具。清洗后鍍膜的質量可以更好；
- 鉸鏈式門，方便裝樣；
- 石英腔的直徑是3英寸，在里面可以放入一個石英舟，大清洗一個2英寸的基片；
- 清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更換；
- 使用可調射頻電源，可以設置功率為低、中、高級別；低成本、操作安全；
| 技術參數 | |
|---|---|
| 主要參數 |
● 低功率設定：直流680V，10mA,6.8W ● 中功率設定：直流700V，15mA,10.5W ● 高功率設定：直流720V，25mA,18W ● 射頻源輸出頻率：13.56MHz ● 等離子直流電源 ● 輸入電壓：220V,50Hz
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| 等離子腔室 |
● 直徑75mmx長200mm的石英墻體，前蓋可以開啟 ● 高純度石英腔體，使用壽命比玻璃長
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| 真空計 | ● 設備標配一個數顯電阻真空機用于實時監測清洗倉內的真空度。
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| 可選配件 |
● 您可以訂購額外的石英腔體，用于備用 ● 如果需要一個通入兩種氣體的工藝解決方案，PDC-36G等離子清洗機可以與2路混氣系統組合（點擊下面圖片了解詳情） ● 您可以訂購石英晶片載體來清潔2英寸晶片 ●
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| 真空泵和閥 |
● 此設備不包含真空泵 ● 您可以點擊下方圖片了解真空泵信息 ●
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| 工作氣體 |
● 多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮氣、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。 ● 可以使用<4％的H2混合惰性氣體 ● 警示：不能使用可燃性及腐蝕性氣體
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等離子清洗及刻蝕的方法 |
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| 外形尺寸 |
353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）
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| 凈重 |
8kg（不含泵）
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| 認證 |
CE認證
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| 質保期 |
● 一年保修，終身技術支持。 ● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 ● 點擊查看售后服務承諾書。
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| 工作原理 |
等離子清洗機工作原理 |
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